上海拥有中国大陆最完整的集成电路产业布局。近年来,浦东集成电路产业已覆盖设计、制造、封测、装备、材料等各个环节,形成一批国内龙头企业和独角兽企业。浦东的开发也吸引了一大批外企,包括英特尔、高通、英飞凌等等。
2019年,上海市集成电路产业规模达1706.56亿元,同比增长17.65%,占全国约五分之一。
未来,上海浦东聚焦张江国家集成电路产业基地和临港集成电路综合性产业基地,将继续打造国际领先水平的集成电路产业园。
打造完整产业链
从一片空白到如今拥有国内最完整的产业集群,张江高科技园区集成电路产业的发展轨迹也是浦东发展的缩影。
1992年7月,上海张江高科技园区成立,成为第一批国家级新区。那时,张江到处是一片片空旷的田野。
浦东的集成电路真正迎来爆发离不开中芯国际的成立和建厂。中芯国际是中国大陆规模最大、制程最先进的芯片制造企业。2000年,张汝京带领300多位台湾集成电路从业者和100多位欧美日韩的同事和朋友在上海创办中芯国际。
2007年12月,中芯国际在上海的12英寸产线建成投产;2008年12月,中芯国际的90纳米CMOS工艺研发成功,为上海开创纳米级工艺技术时代。
为实现自主创新发展,2008年“02专项”启动实施,即《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目。根据集成电路产业的区域集聚特点,02专项交由北京市和上海市两个地方政府牵头组织实施。
在2017年5月的一次发布会上,专项技术总师叶甜春表示,经过9年的艰苦攻关,研制成功14纳米刻蚀机、薄膜沉积等30多种高端装备和靶材、抛光液等上百种材料产品,性能达到国际先进水平,通过了大生产线的严格考核,开始批量应用并出口到海外,从而实现了从无到有的突破,建立起了完整的产业链,使我国集成电路制造技术体系和产业生态得以建立和完善。
在上海浦东就有诸多专项成员,例如中微公司、上海新阳、上海微电子装备、安集科技、新昇半导体等。
中微公司的等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装生产线上有诸多应用。有媒体报道称,该公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。